技术编号:13652496
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型用于激光加工硬脆透明材料的技术领域,具体涉及一种玻璃微流道的激光复合加工装置。
背景技术
微流道是微反应器和微流系统的重要组成部分,集成微流道系统被广泛应用于化学、光学、生物医疗和军事等领域。玻璃和硅材料因其化学性能稳定性、可靠性和抗高压高温好、利于电渗流驱动等优点,是制备微流道的高性能材料。但玻璃材料的脆性大使其微加工困难,若采用特殊的工艺制备微流控组件成本高昂,制约了玻璃在微流体领域大规模使用。
近年来,微流道加工工艺取得了快速发展,常用的...
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