技术编号：13668901
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背景技术
随着九十年代TFT-LCD技术的成熟，液晶面板由于其平板、轻薄、低功耗、多样化、环保性等优点得到迅速发展。随着液晶面板大型化，为保证产品的品质，所需设备的精密程度要求越来越高，在生产过程中的设备稳定性需求进一步加强。
目前在液晶面板制造工艺流程中，需要非水液体作为反应介质的工序包括清洗，显影，刻蚀以及剥离等重要核心工艺。在这些核心工艺流程所用的设备中，感应装置作为感应玻璃存在，传送玻璃信息...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。