技术编号：13707458
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种非接触输送装置和一种非接触吸附盘，更详细地说，涉及一种以非接触状态输送薄板状的工件的非接触输送装置以及一种以非接触状态吸附薄板状的工件的非接触吸附盘。背景技术作为使半导体晶圆、FPD用玻璃基材等厚度较薄的工件悬浮地进行处理的非接触吸附装置，已知有专利文献1的悬浮载物台。该悬浮载物台在多孔质板的表面同时进行工件在加压空气的作用下的悬浮和工件在抽吸的作用下的非接触吸附，从而使工件在多孔质板上悬浮地进行输送等。另外，作为其他非接触吸附装置，已知有专利文献2的非接触吸附盘。该非接触...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。