技术编号：13729544
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术本发明涉及用于定向自组装的共聚物配制品、其制造方法以及包含其的物件。嵌段共聚物的定向自组装(DSA)已被确认为扩展当前光学光刻技术水平的候选技术。在DSA中，通过将自组装嵌段共聚物纳米结构域引导到光刻图案化衬底来实现较小间距大小。现今用于DSA的主导方法中的一种涉及化学图案化以对准嵌段共聚物的片层状形态，所述嵌段共聚物如聚苯乙烯-嵌段-聚(甲基丙烯酸甲酯)或PS-b-PMMA。图1中示出的优选工艺方案以使一般由交联聚苯乙烯垫制成的稀疏导引条带阵列图案化开始。在将条带蚀刻(也称为“蚀刻修整...
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