技术编号：13755463
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于镀膜设备的防着板，具体地讲，涉及一种易清洗且具有长使用寿命时间的用于镀膜设备的防着板结构及其制造方法、镀膜设备。
背景技术
物理气相沉积设备(诸如磁控溅射镀膜设备)在溅镀薄膜过程中，其腔室内壁和部分部件会使用防着板进行保护，以防止靶材材料被溅射到用于沉积薄膜的基板以外的部件上，从而造成设备部件损坏。
随着防着板表面膜层厚度越来越厚，附着的膜层会有脱落的风险。这时就要对防着板进行清洗更换，将堆积靶材膜层的防着板进行清洗，除去表面附着膜层。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。