技术编号：13759054
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于一种传感器，具体涉及一种微电子气体传感器。
背景技术
气体传感器是一种将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器。探测头通过气体传感器对气体样品进行调理，通常包括滤除杂质和干扰气体、干燥或制冷处理仪表显示部分。
测量时，由于气体分子的离吸作用使其表面电位高低发生变化，传感器的电阻值发生变化，电阻值的变化是检测气体的浓度，而待测气体很容易混入一些杂质，待测气体与半导体表面吸附的氧发生氧化反应，从而降低传感器的灵敏度，影响测量数据的精确性。而现有的...
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