技术编号：13801601
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种上部电极天板及干法刻蚀设备。
背景技术
在显示技术领域，通常通过干法刻蚀工艺对玻璃基板进行刻蚀，以制作相应的图形。具体地，将待刻蚀的玻璃基板置于干法刻蚀设备中，利用等离子体放电来去除玻璃基板上待刻蚀的材料进行刻蚀。
以下结合干法刻蚀设备的结构说明其刻蚀的原理。
参见图1，为现有技术干法刻蚀设备结构示意图，包括：反应腔100、位于反应腔100内的上部电极天板101和下部电极102，位于下部电极102上用于放置...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。