放射线图像检测器的制作方法技术资料下载

技术编号:13913094

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本发明涉及在闪烁体层的蒸镀时的基板加热\/冷却时能够防止在闪烁体层产生的裂缝、抑制裂缝所致的画质降低的放射线图像检测器。背景技术近年来,以计算机造影(CR:computed radiography)、平板探测器(FPD:flat panel detector)等为代表的数字方式的放射线图像检测器直接得到数字的放射线图像,能够在阴极管、液晶面板等图像显示装置上直接显示图像,所以广泛用于医院以及诊所等的图像诊断。最近,使用包含碘化铯(CsI)的闪烁体层并组合有薄膜晶体管(TFT)的平板作为高灵敏度的...
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