技术编号：13933486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种工件台运动控制方法。背景技术工件台分系统是平板显示扫描光刻机最关键的分系统之一，其精度和稳定性直接影响光刻机的产率、套刻精度(Overlay)和成像质量。与其他光刻机相比，工件台分系统具有行程更大、扫描速度更快、负载更大、电机驱动反力更大的特点，从而对其精度与稳定性提出更严苛的要求，为了不降低产率和曝光分系统分辨率等系统的主要指标，更可靠的工件台控制策略成为了研究的热点。随着工件台尺寸逐渐增大，为了促使其运动，则需要更大的电机驱动力，从而导致工件台的驱动反力...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。