技术编号:13978584
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及蒸镀设备技术领域,具体涉及一种用于OLED蒸镀的蒸发源装置。背景技术近年来,随着人们对更高品质显示产品的追求,OLED(Organic Light-Emitting Diode)作为一种新型的平板显示技术逐渐受到更多的关注,由于具有宽视角、主动发光、亮度高、分辨率高、响应速度快、能耗低、工作温度范围宽以及可柔性化显示等优点,OLED成为最具潜力的替代LCD液晶显示的新兴技术。目前,国内外普遍采用有机材料蒸镀的方式生产OLED显示产品,现今的OLED蒸镀装置的蒸发源主要分为点蒸发源和线性...
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