技术编号:14043688
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种利用矢量网络分析仪进行在片测试的方法。背景技术微波集成电路工作在微波和毫米波波段,由微波无源有源元件、传输线和互连线集成在一个基片上。随着微波集成电路技术和制作工艺的发展,集成电路的集成度更高,基片面积更小。作为通用微波测量仪器的矢量网络分析仪,利用其对微波集成电路进行在片测试,即直接在大圆片上进行微波集成电路S参数测试,难度也更高。由于微波集成电路与矢量网络分析仪无法直接相连,因此测量需要引入夹具或探针台、或封装、或利用键合引线等。目前主流在片测试方式是利用矢量网络分析仪的夹具去...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。