技术编号：1404886
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于基板用搬运除尘装置的使用方法及这种基板用搬运除尘 装置，用以搬运玻璃板、合成树脂板或金属板等基板，对附着于该基板表 面上的尘土或灰尘(以下将其称为尘埃)等，只是利用的洗涤空气或以超音波 频率振动的超音波空气(以下将其总称为洗涤空气)使尘埃飞散后而吸引除去。背景技术 边参照图边说明以基板为对象的基板用搬运除尘装置。图18、图19 是现有技术的基板用搬运除尘装置的说明图。图20是说明基板的弯曲的说 明图，图20(a)是说明基板的前端的弯曲的说明图，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。