技术编号:1405061
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶硅领域,具体的是涉及一种用于清洗单晶硅的自动清洗装置。背景技术随着绿色能源的不断发展,太阳能被人们越来越多的应用起来,太阳能电池是太 阳能主要部件之一,而硅是太阳能电池的主要原料,根据硅的结晶性,分为单晶硅太阳能电 池、多晶硅太阳能电池、非晶硅太阳能电池。其中由以单晶硅太阳能电池为普遍,在生产单 晶硅的过程中,清洗是个非常重要的步骤,因为清洗单晶硅的干净与否直接影响到下一工 序,甚至影响到整体器件的成品率和可靠性,清洗的目的主要是清洗掉附...
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