技术编号:14071989
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及压力传感器。特别地,本公开涉及具有过压保护的压力传感器。背景技术在许多压力传感器中,柔性隔膜响应于施加到隔膜顶部的压力相对于基部移动。响应于施加的压力提供可重复单调运动的隔膜是优选的。结果,晶体隔膜,诸如由晶体硅制成的隔膜已被广泛采用,因为它们响应于所施加的压力而提供单调运动,并且通常没有滞后效应。不幸的是,具有这种晶体结构的传感器具有有限的过压能力,并且传感器隔膜上的过度压力可能导致超过结晶结构的最大断裂强度的大拉伸应力。这种传感器中的故障倾向于是灾难性的,常常导致完全破碎的结构。上...
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