技术编号：1408788
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于太阳能电池制造工艺，涉及到在太阳能电池制造过程中 扩散炉的石英管清洗环节，特别是为石英管清洗用的清洗机。背景技术太阳能电池制造成本一直是制约光伏产业发展的重要因素之一，在晶硅太阳电池 PN结的制作过程中，不可避免的会产生偏磷酸等副产物，这些偏磷酸通过挥发粘附在石英 管上，对石英管具有一定的腐蚀作用，使石英管表面产生许多小坑，从而影响石英管的使用 效果。其次偏磷酸的挥发也会落到硅片上，使硅片表面产生杂质，从而影响硅片的光电转换 效率。石英管清洗...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。