压电振动片和压电振动器的制作方法技术资料下载

技术编号:1410557

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本发明涉及在同一压电基板上一体地具有主振动部和包围主振动部的外框部的压电振动片和压电振动器。背景技术 近年来,电子设备的小型化不断进展,供这些电子设备使用的压电振动器和供压电振动器使用的压电振动片也要求小型化和薄型化。为了使压电振动器和供其使用的压电振动片小型化和薄型化,提出了例如图11所示的压电振动片500。图11示出作为以往的压电振动片一例的使用石英基板的AT切振动片,(a)是平面图,(b)是正剖面图。如图11(a)、(b)所示,压电振动片500由形成...
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