技术编号:14199378
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及医学诊断超声成像,并且具体涉及使用电容式微加工超声换能器(CMUT)的超声换能器探头。背景技术常规地,超声换能器是由诸如PZT的压电陶瓷材料或者由诸如PVDF的压电聚合物形成的。近年来,已经表明换能器能够通过半导体工艺来制作。这样的换能器由微小的半导体单元形成,其中,振动膜生成并接收超声能量,并且被称为微加工超声换能器(MUT)。两种这样的换能器类型是利用膜上的压电材料的、被称为压电微加工超声换能器(PMUT)的那些以及利用导电膜与另一电极之间的电容效应的、被称为电容式微加工超声换能器...
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