用于制造金刚石电极的方法和金刚石电极与流程技术资料下载

技术编号:14216298

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本发明涉及一种用于制造金刚石电极的方法以及一种可根据该方法制造的金刚石电极。背景技术目前金刚石电极尤其使用在多个不同的应用中。目前在处理器制造中施加具有金银丝结构(filigrane Struktur)的多个不同层。为了保证按照规定的功能性,必须有规律地清洁和处理待涂覆的表面。平均对每个要施加的层实施两次到三次清洁和表面处理过程。在此,不同类型的污染必须通过不同类型的清洁液体移除。针对有机污染例如使用经臭氧处理的水,而为了移除布置在表面上的颗粒使用阴极水。阳极水例如用于移除金属污染。为了移除表面...
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