技术编号：14325219
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空压强测量设备，是一种基于场发射阴极电子源的新型电离真空计及其应用方法，属于测量仪器领域。背景技术场发射阴极在施加一定电场的条件下便可发射出电子，可以有效改善传统热阴极因加热至上千度高温导致的热辐射、高能耗、放气、气体脱附等效应，同时，场电子发射还具有响应速度快、电流易于调制、器件易于小型化等优势。因此，基于场致发射阴极电子源的电离真空计在真空测量上有多方面的优势。目前报道的场发射阴极电离真空计多是在传统热阴极电离真空计的结构上改装，存在灵敏度较低，工作范围窄的问题，因此有必要对...
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