技术编号：1435355
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种X射线碘化铯闪烁屏衬底的清洁方法，具体步骤包括先用洗涤剂把衬底先清洗，然后再用离子水冲干净；将浓硫酸双氧水按21的比例混合配置；将第一次冲洗好的衬底放到piranha溶液里侵泡；将浸泡好的衬底取出，用大量去离子水冲干净；将第二次冲洗好的衬底用酒精冲洗，最后用氮气吹干。通过上述方式，本发明一种X射线碘化铯闪烁屏衬底的清洁方法可以将衬底彻底的清洗干净，使得溅射后薄膜与衬底具有足够的结合力。专利说明一种X射线碘化铯闪烁屏衬底的清洁方法[0001]...
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