技术编号：1435977
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种，涉及半导体制造领域，能够避免缝隙清洁过程中粉尘的散落。该靶材缝隙清洁装置，包括靶材正面吹气单元、靶材侧面吹气单元和靶材侧面吸尘器。该靶材缝隙清洁方法，包括向靶材正面的缝隙吹气；向靶材第一侧面的缝隙吹气；从靶材第二侧面的缝隙吸取粉尘，所述第一侧面为与所述第二侧面相对的面。专利说明[0001]本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种。背景技术[0002]在半导体制造领域，特别是在液晶显示器领域，采用磁控溅射技术制作薄膜的工艺非常普及。随着液晶面...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。