技术编号：14360486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学测量设备技术领域，尤其是涉及一种椭圆偏振测厚仪。背景技术椭圆偏振测厚仪利用光的偏振特性，即，一束椭圆偏振的光在镀膜的上下表面两次反射，它的偏振状态会转过一定的角度，此转过角度的具体与镀膜和衬底的折射率，以及镀膜厚度相关，由此特性可在已知衬底折射率的情况下得出所测量镀膜的厚度即折射率。消光法椭圆偏振方式对应不同样品制造出一束特定的椭圆偏振光使光束在样品上反射后形成线偏振光，检测此椭圆偏振光的长轴角度以及形成的线偏振光的偏振方向，根据这两个角度及已知的衬底的折射率即可得出测量镀膜的厚度...
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