一种金属箔片表面金属掺杂的氧化锌复合电极薄膜及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:14446515

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本发明涉及一种柔性金属箔片溅射表面形成金属掺杂的氧化锌复合涂层及其制备方法,属于薄膜制备技术领域。背景技术氧化锌(ZnO)是一种具有较大的激子结合能以及较高的电子迁移率的宽禁带直接带隙化合物半导体材料,具有的优异性能使其作为电极材料有望在光电探测、光催化、以及太阳能电池领域广泛应用。以往ZnO薄膜常与FTO玻璃(SnO2薄膜)、ITO玻璃(In2O3薄膜)复合作为光电器件光阳极使用,然而ITO以及FTO玻璃成本较高,质地易碎,容易失效等问题限制了其在特殊条件下的应用。镍(Ni)、铝(Al)、等金...
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