一种以SU-8胶为回流焊阻焊层的MEMS元件低温封装方法与流程技术资料下载

技术编号:14464394

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本发明涉及一种以SU-8胶为回流焊阻焊层的微机电系统(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)元件低温封装方法,特别涉及一种以SU-8胶为回流焊阻焊层的丝状、带状MEMS元件低温封装方法,属于微制造加工领域。背景技术由于电子产品PCB板不断小型化的需要,出现了片状元件,传统的焊接方法已不能适应需要。起先,只在混合集成电路板组装中采用了回流焊工艺,组装焊接的元件多数为片状电容、片状电感,贴装型晶体管及二极管等。随着表面贴装技术(SMT)整个技术发展日趋完善,多种贴...
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