技术编号：14470750
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及抽真空技术领域，尤其涉及一种抽真空装置、抽真空系统及其抽真空方法。背景技术电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术是通过真空泵将设备中的真空室抽取真空，达到一定的真空度要求后，用电流加热电子枪的阴极灯丝产生电子，带负电荷的电子束高速飞向高电位正极的过程中，经过加速极加速，又通过电磁透镜聚焦，电子束的功率加大，再经二次聚焦后，其能量密度可达105W/m2以上。高能量密度电子束使靶材在几分之一微秒内温度升高上万摄氏度，即使靶材放在水冷坩埚中，热量在短的时间内来不及扩散，靶材瞬间被熔化和气化为...
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