技术编号：1450805
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种清洗机安全系统，包括清洗室，清洗室具有进料口，进料口的上方设置有与进料口匹配的安全门；压力传感器，压力传感器设置于进料口底部；其中，当安全门关闭后，安全门对进料口底部产生压力值，压力传感器感应到压力值后，清洗机进行清洗工艺；当压力传感器感应到压力值消失后，清洗机停止清洗工艺；因此通过该发明可以有效的避免安全隐患的问题，智能化、自动化的实现了对工人的安全保护。专利说明一种清洗机安全系统 [0001]本发明涉及到半导体集成电路制造领域，尤其...
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