技术编号：14509593
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于纳米力学测试实验技术领域，特别是涉及一种三位一体式纳米压痕实验方法。背景技术目前，纳米力学测试系统作为国际上最有效的纳米力学测试设备，可对样品表面微区进行纳米级别的压痕或划痕实验，并原位成像压痕或划痕后的表面形貌。纳米力学测试系统的成像方式有两种，第一种为常规成像模式：通过放大倍数为200倍或500倍的物镜对样品进行简单的形貌观察；第二种为纳米量级高分辨率表面原位形貌观测成像模式：通过纳米压痕针尖以2nN的微小接触力对样品表面进行接触式扫描形成形貌图，这种成像方式的纵向分辨率为0.1n...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。