微惯性测量装置的制作方法技术资料下载

技术编号:14517319

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本发明涉及测量技术领域,特别是涉及一种微惯性测量装置。背景技术目前,低成本导航与制导技术是发展实用化精确制导技术的首要内容。MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)微惯性测量装置具有成本低、体积小、重量轻、功耗低等优点,因此在汽车定位、精细农用机械车辆导航、林区防火的无人机、精确制导武器、卫星探测等方面具有非常重要的应用价值。传统的微惯性测量装置一般基于石英惯性器件或光纤惯性器件,即使是基于硅MEMS惯性器件,由于其角速度信息和加速度信息不但随温度...
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