技术编号：1454665
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于清洗设备，具体涉及的是一种自动晶片覆晶载板清洗机。本清洗机中化学隔离室、第一风切干燥室和第二风切干燥室中对应的胶辊设有沿覆晶载板移动方向设置的扫风槽，扫风槽用于增大覆晶载板被扫风的面积，扫风槽为沿胶辊径向设置的环形凹槽，胶辊上设有多个扫风槽且沿胶辊轴向均匀设置。本发明采用上胶辊和下胶辊配合夹装覆晶载板，在胶辊上设置环形扫风槽，在风刀向覆晶载板扫风的时候，高速空气可以通过扫风槽通过覆晶载板表面，同时扫风槽设有多个且均匀分布，可以提供更大面积的向覆晶...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。