技术编号：14569690
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种力检测传感器、力传感器、扭矩传感器及机器人。背景技术例如，作为力检测传感器，已知使用了振子的结构(例如专利文献1)。专利文献1中所述的力检测传感器具备基板、层叠在基板上的第一振子及第二振子。而且，在使第一振子振动的状态下，第二振子朝对象物被按压后，第一振子容易将被按压量的振动传递到第二振子，与第一振子频率相同的信号根据按压力所对应的振幅从第二振子输出。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-31574号公报发明内容发明所要解决的技术问题但是，在这种力检测传感器中，从第二振...
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