技术编号:14577870
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及空气净化技术领域,尤其涉及一种清洁空气的制备装置。背景技术工业上在真空镀膜机进行真空镀膜时,常常需要保证其真空室的干净,避免因真空室的污染而造成真空镀膜产品失败。而现有中,真空室往往是与真空泵连接的,通过真空泵压缩气体并而将其通入真空室内匹配真空镀膜机的镀膜加工。而现有中,对通过真空泵将空气送入真空镀膜机的真空室处理方式大体为:一是,通过真空泵将空气直接通入真空室,而采用直接将空气通入真空室,空气中包含的粉尘、小颗粒、油污及水气则会直接对真空室构成污染,进而影响真空镀膜产品的质量;...
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