技术编号:1458941
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种晶圆清洗装置,所述晶圆清洗装置至少包括设有第一流量调节阀的第一进液管道;第二进液管道;与所述第二进液管道分别通过第二、第三流量调节阀导通的第一管道和第二管道;与所述第一进液管道、所述第一管道导通的第三管道;与所述第二管道导通的第四管道,所述第二管道和所述第四管道之间设有第一阀门;所述第一管道与所述第四管道之间设有第二阀门。本实用新型通过设计晶圆清洗装置的管路,使得晶圆在化学机械研磨后使用柠檬酸溶液和去离子水进行清洗的过程中,达到清洗效果的...
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