技术编号:14601792
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及液晶面板制造领域,尤其涉及一种显影机的水洗循环系统中的过滤装置。背景技术显影机是液晶面板制造行业中必不可少的设备,显影机中的水洗循环系统用于清洗玻璃基板表面的部分光阻。当前显影机中的水洗循环系统通常将厂端直供的清洁用水供入第一腔室以清洗基板,并将清洗后的用水进行收集,待其回流进入储水器后,再经光阻滤芯过滤后,由水泵打入第二腔室。基板在第一腔室清洗后,再进入第二腔室进行二次清洗,以保证基板的洗净效果。同时,这样的操做还能起到循环用水的作用,利于节约。由于水中的光阻残渣粒径细至微米级,为了...
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