技术编号：14710756
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于滚转角的光电测量领域，具体为一种共光路激光外差干涉法滚转角高精度测量装置及方法。背景技术精密导轨在制造业、航空航天等工业中发挥着重要的作用。在直线导轨中存在着六项几何误差，分别是：定位误差、两个直线度误差、俯仰角、偏摆角及滚转角。滚转角误差作为高档机床几何误差的重要部分，其精度是衡量导轨性能的重要参考指标之一，它的测量是进行产品验收检验和进行误差补偿的关键。对于滚转角误差，由于其误差方向与测量光束方向垂直，无法引入额外的光程差，因而滚转角的测量相对困难，目前国内外还处于一种研究和探索阶...
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