技术编号：14798115
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于在基板上形成电子器件用图案的基板处理装置、器件制造系统、器件制造方法及图案形成装置。背景技术以往，如日本特开平9-219353号公报所示，作为基板处理装置，公知有对设于在平板上移动的移动载台上的基板进行器件图案的曝光的曝光装置。该曝光装置的平板经由具有减振机构的安装部件而支承在基台上。移动载台在设于平板上的可动引导件上沿X方向移动。可动引导件通过设于基台上的两台线性马达而在平板上沿Y方向移动。两台线性马达设在基台的X方向的两侧，以非接触的方式使可动引导件沿Y方向移动。也就是说，各线...
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