技术编号:14818491
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及机械辅助设备技术领域,特别是涉及一种抽渣装置。背景技术随着半导体制造行业的快速发展,面板切割技术得到越来越多的应用。在对工件进行切割裂片的过程中,由于裂片需要的能量较大,产生的废料也会在较大能量的作用下溅射至操作平台,甚至溅射至工件上而对工件的表面造成划伤,从而致使产品的表面质量及良率降低。实用新型内容基于此,有必要提供一种能够及时清理裂片废料、有效保护工件表面的抽渣装置。一种抽渣装置,安装于裂片操作头上,包括:第一筒体,与所述裂片操作头连接;第二筒体,与所述第一筒体螺纹连接,所述...
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