技术编号：14916746
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及表面处理领域，尤其涉及一种重稀土扩渗工艺中的磁控镀膜设备。背景技术目前，在磁性材料行业中，人们通常会采用重稀土晶界扩散渗透工艺来进一步提高钕铁硼材料的矫顽力和温度的稳定性。其中，重稀土晶界扩散渗透工艺是指通过扩散渗透工艺使重稀土元素只存在于钕铁硼的晶界而不进入晶内，以减少钕铁硼原子间的磁耦合，从而可显著提高钕铁硼的矫顽力和温度的稳定性，进而提升磁性能。现在工业生产中常用的重稀土晶界扩散渗透工艺主要为两种：蒸镀法或表面涂覆法。蒸镀法是指将待处理样品与重稀土元素或重稀土化合物一同放在蒸...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。