技术编号：14958383
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于使探针与基板接触的检查辅具、包括该检查辅具的基板检查装置以及基板检查方法。背景技术以往已知如下技术：将作为检查对象的多个单位基板形成为多行多列的矩阵状来作成集合基板，并对应于相邻的多个单位基板的检查点而配置多个检查辅具，一次性地对该集合基板内的多个单位基板进行检查(参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平8-21867号公报发明内容然而，在配置有多个单位基板并将该多个单位基板汇集于一张基板上而成的集合基板中，在集合基板的制造工序中，集合基板内的各单位基板的检查点...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。