技术编号：14979475
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种隔热罩，具体涉及一种多晶硅还原炉用石英陶瓷隔热罩。背景技术近年来，随着传统化石能源的短缺和环境保护之间矛盾的日益突出，太阳能得到了广泛的发展和利用，多晶硅原料制备技术也得到了长足的发展进步。目前，多晶硅生产的工艺技术主要有改良西门子法、硅烷法、流化床法和冶金法(物理法)等，其中改良西门子法作为最成熟的工艺，产量占75％以上。多晶硅还原炉是改良西门子法的关键设备，主要发生氢气还原三氯氢硅沉积生成太阳能级硅的化学反应。还原炉启动方式为硅芯击穿启动，主要采用高压启动工艺，硅芯电极主要...
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