技术编号：15017384
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明专利是一种气体压力检测装置，特别是一种用于气体压力测量装置，属于压力传感器领域。背景技术压力传感器广泛应用于汽车系统、工业过程控制、医疗诊断与监控以及环境监测中。在压力传感器中，薄膜厚度是决定压力传感器灵敏度的主要因素。单晶硅可形变薄膜是应用最广泛的材料之一。但是，在单晶硅薄膜上集成压阻传感器存在加工复杂、成本高的问题。压阻传感器的电阻一致性难以精确保证，成为制约单晶硅薄膜压力传感器技术提高的难题。石墨烯薄膜具有超薄、强度超大的优点，具有优异的导电性和电阻随长度变化的特性。现有石墨烯加工技...
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