技术编号：15019082
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及相移掩模坯料及使用其的相移掩模的制造方法、以及显示装置的制造方法。背景技术近年来，伴随着FPD(平板显示器、Flat Panel Display)等显示装置的高分辨率、高精细化，要求具有优异的图案截面形状及优异的CD均匀性、且形成了微细图案的显示装置用相移掩模。另外，受到FPD等显示装置的低价格化的影响，需要削减相移掩模的制造成本。在相移膜上形成有遮光膜的以往的相移掩模坯料的情况下，将抗蚀剂膜图案作为掩模对遮光膜进行蚀刻而形成遮光膜图案，然后，将遮光膜图案作为掩模对相移膜进行蚀刻而形成...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。