技术编号:15048897
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及半导体领域,具体而言,涉及一种超级结肖特基二极管与其制作方法。背景技术二极管是最常用的电子元器件之一,传统的整流二极管主要是肖特基整流器和PN结整流器。PN结二极管能够承受较高的反向阻断电压,稳定性较好,但是开启电压较大,反向恢复时间较长。肖特基二极管利用金属与半导体接触形成的金属-半导体结原理制作,开启电压较小。由于是单极载流子导电,肖特基二极管在正向导通时没有过剩的少数载流子积累,因此反向恢复较快。但是,肖特基二极管反向漏电比较大,温度特性较差。此外,由于肖特基二极管是单载流子导电...
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