技术编号：15262913
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种惯性力传感器，尤其涉及测定车辆、飞机、机器人、手机、摄像机等运动体的运动状态的加速度传感器及角速度传感器等。背景技术近年来，出于数字相机的防抖、汽车和机器人等的姿态控制等目的，使用微机电系统(MEMS(Micro Electro Mechanical Systems))元件的惯性力传感器的运用日益广泛。通常，这种惯性力传感器是使用蚀刻等MEMS加工工艺对硅等半导体基板、玻璃基板等进行加工而形成，并在一定的气氛、压力环境下贴合别的基板，由此形成经气密密封的空隙。例如，专利文献1中记载...
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