技术编号：1530429
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体及太阳能行业的制造设备，尤其涉及硅料、硅片等物料的槽式清洗机。背景技术硅料、硅片等清洗是太阳能行业与半导体行业硅材料制造过程的重要环节，其目的是清除硅料或硅片表面的金属离子污染、有机物污染或颗粒物污染，从而保证其纯净度，保证产品质量。硅料、硅片清洗机主要由设置于机架上的清洗槽、清洗液管路系统、超声波系统、加热系统、清洗抛动装置，以及物料篮输送系统和电控部分构成。物料篮用以承载需要清洗的硅片与硅料，由物料篮输送机构将物料篮逐个搬移至下一清...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。