技术编号：15410311
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅还原装置高纯硅粉收集相关技术领域，具体涉及一种用于还原尾气高纯硅粉收集器。背景技术还原尾气夹带的细硅粉温度高，压力高，硅粉非常细，平均粒径不到5微米，最大粒径不超过10微米。如果不及时去除还原尾气中的硅粉，会导致下游管道及设备磨损严重，也会产生堵塞，不利于装置的平稳运行。而且这么细的硅粉进入下游后，无法回收，而这种粒度的高纯硅粉是生产氮化硅的理想原料，因此细硅粉进入下游造成了资源浪费。目前该行业的国内及国外企业，还没有对还原尾气中的细硅粉进行回收，任由其进入下游CDI装置，随...
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