技术编号：15499705
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过式片盒片架清洗设备，用于半导体、太阳能和LED等行业内片盒/片架的清洗干燥领域，以有效去除表面附着的颗粒和有机物，并做到片盒、片架干进干出。背景技术在目前半导体、太阳能和LED等行业中对于使用后的硅片承载的片盒/片架一般采用的是人工方式清洗，即片盒/片架放置于有含有表面活性剂的超声波水槽中，浸泡一段时间后再用纯水冲洗，最后用气枪将残留的水冲干。这种方式的效率是非常低的，耗时耗人工。如申请号：201410144428.3涉及一种抛光片载片盒的清洗工艺，它包括以下步骤：在清洗槽内放...
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