一种驱动薄膜晶体管及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:15533419

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本发明涉及驱动薄膜晶体管技术领域,具体涉及一种新型驱动薄膜晶体管及其制备方法。背景技术在AMOLED中,随着像素PPI的增加,像素所需的工作电流减小,故需要的驱动薄膜晶体管DTFT的开启电流Ion减小,同时驱动薄膜晶体管STFT的特性仍需要保持快速的充电速率,因此难以通过一次光刻同时达到上述要求。此外,像素的版图设计上,因像素PPI的增大,像素周期pitch减小,载流子传输通道的长度L相对宽度W增大,反而使得W/L增大,难以从版图设计的角度使驱动薄膜晶体管DTFT Ion减小。从工艺条件上,若减...
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