技术编号：1555731
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超声波清洗组件，更具体地，涉及一种超声波清洗组件，该 超声波清洗组件包括具有压电元件的振动器，供电单元向该压电元件供电， 所述压电元件安装在所述振动器内，以通过所述压电元件的振动产生超声 波；第一振动杆，该第一振动杆连接到所述振动器的一侧，使得所述第一振动杆垂直地定位在需要清洗的半导体晶片的一个主表面的上方，所述第一振动杆的直径逐渐减小，以集中由所述振动器产生的纵向超声波；以及第二振 动杆，该第二振动杆连接到所述第一振动杆，使得所述第二振动杆垂直...
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