技术编号：1556244
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及硅太阳能电池清洗刻蚀、干燥方法及一体化处理机。技术背景太阳能光伏电池是新技术和可再生环保型能源的重要组成部分，是当 今世界最有发展前景的能源技术。硅太阳能电池是光伏电池的核心部分， 高效的硅太阳能电池需要通过一系列的技术来完成硅表面处理。目前在硅太阳能电池的表面处理上，主要沿用传统的RCA方法对硅片进行清洗， 该工艺完成对硅片的清洗需要耗费大量的化学试剂和水源，其中大部分化 学试剂对操作者和环境都会带来相当大污染和危险。目前的清洗是一个十 分复杂...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。