技术编号:1556544
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空清洗装置。特别属于薄膜沉积前对镀件(玻璃基片) 或工件表面的清洗。背景技术在真空镀膜制程中,镀件在被镀膜前先要经表面清洁处理。对玻璃镀件 的清洁处理通常使用化学清洗与物理清洗相结合的方法,即用洗液和刷拭相 结合的方式进行清洗。这种清洗方法简称为湿法清洗。湿法清洗存在清洗不彻底的问题,即无法完全去掉玻璃表面的有机物和 氧化物等,并容易形成水渍。对玻璃镀件清洁不彻底将直接导致膜层的附着 力不好,所镀膜层易脱落。在大面积玻璃镀膜行业中,如非晶硅...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。